GB_T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法.pdf

本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。

标准编号：GB/T 42191-2023
中文名称：MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
英文名称：Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-09-01
引用标准：GB/T 2423.1-2008;GB/T 2423.2-2008;GB/T 2423.5;GB/T 2423.22;GB/T 4937.12;GB/T 26111;GB/T 33922
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会
全文页数：15


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