GB_T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf

本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。

标准编号：GB/T 42897-2023
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
英文名称：Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
发布日期：2023-08-06
实施日期：2023-12-01
引用标准：GB/T 26111
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会
全文页数：12


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