GB_T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法.pdf

本文件描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。

标准编号：GB/T 42896-2023
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
英文名称：Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
发布日期：2023-08-06
实施日期：2023-12-01
引用标准：GB/T 2900.28;GB/T 26111;GB/T 36416.1
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会
全文页数：13


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