GB_T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片.pdf

本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及 LED 发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。

标准编号：GB/T 30656-2023
中文名称：碳化硅单晶抛光片
英文名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布日期：2023-03-17
实施日期：2023-10-01
代替标准：GB/T 30656-2014
引用标准：GB/T 1555;GB/T 2828.1-2012;GB/T 6616;GB/T 6624;GB/T 13387;GB/T 13388;GB/T 14264;GB/T 25915.1-2021;GB/T 26067;GB/T 29505;GB/T 30866;GB/T 30867;GB/T 31351;GB/T 32188;GB/T 32278;GB/T 42271;GB/T 41765
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
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