GB_T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢.pdf

标准号：GB/T 14851-2009
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 磷化氢
英文名称：Gas for electronic industry. Phosphine
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：GB/T 14851-1993
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
起草单位：中国计量科学研究院
范围：本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适角于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂
文件格式：PDF
文件大小：346.74KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-04-13）

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