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GB_T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf

 

GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法:
标准号：GB/T 4060-2007
实施状态：现行
中文名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
英文名称：Polycrystalline silicon. Examination method. Vacuum zone-melting on boron
组织分类：GB
中标分类：H17
ICS分类：77.040.01
标准分类：CN
发布日期：2007-09-11
实施日期：2008-02-01
作废日期：2019-06-01
被替代标准：GB/T 4060-2018
代替标准：GB/T 4060-1983
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委界会材料分技术委员会
起草单位：峨眉半导体材料厂
范围：本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围:0.002×10-3~100×10-9。
文件格式：PDF
文件大小：199.10KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-04-17）

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