标准号：GB/T 1555-2009
实施状态：现行
中文名称：半导体单晶晶向测定方法
英文名称：Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal
组织分类：GB
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
代替标准：GB/T 1555-1997
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
范围：本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向
文件格式：PDF
文件大小：302.55KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-04-13）
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