CAS 127.1-2009 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级

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标准号:CAS 127.1-2009
实施状态:现行
中文名称:洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments. Part1:Classification of air cleanliness
组织分类:CAS
中标分类:C70
ICS分类:13.40.30
标准分类:QT
发布日期:2009-07-20
实施日期:2009-07-20
作废日期:    -  -
代替标准:CAS 127.1-2005
采用标准:ISO 14644-1-1999,IDT
归口单位:中国标准化协会
起草单位:中国电子工程设计研究院
范围:本部分划分洁净室及相关受控环境的空气洁净度等级仅依据其内的空气悬浮粒子浓度,该浓度系指粒径大于等于阀值(低限)粒径的粒子总数,规定的阀值(低限)粒径为0.1μm~ 5μm。本部分未设立0.1μm~ 5μm规定粒径以外粒子总数的洁净度等级。但可以用U描述符和M描述符,分别表述超微粒子(<0.1μm)和大粒子(>5μm)的总数。本部分不能用于描述空气悬浮粒子的物理、化学、放射性或存活特性。
文件格式:PDF
文件大小:931.25KB
文件页数:29
(以上信息更新时间为:2019-04-14)

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CAS 127.1-2009 洁净室及相关受控环境 第1部分_空气洁净度等级.pdf (931.25 KB)

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