标准号：CAS 127.3-2009
实施状态：现行
中文名称：洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments. Part3:Test Methods
组织分类：CAS
中标分类：C47
ICS分类：13.040.35
标准分类：QT
发布日期： - -
实施日期：2009-07-20
作废日期： - -
代替标准：CAS 127.3-2005
采用标准：ISO 14644-3-1999,IDT
归口单位：中国标准化协会
起草单位：苏州尚科洁净技术有限公司
范围：规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法, 以及洁净室和洁净区性能的检侧方法。性能检侧针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型,为此,本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的登求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意,也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。
文件格式：PDF
文件大小：2.86MB
文件页数：64
（以上信息更新时间为：2019-05-16）
标准全文下载：
CAS 127.3-2009 洁净室及相关受控环境 第3部分_检测方法.pdf
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