标准号:SJ 20984-2008
实施状态:现行
中文名称:化学气相淀积(CVD)设备通用规范
英文名称:General specification for chemical vapor deposition(CVD) equipment
组织分类:SJ
中标分类:L95
ICS分类:31.240
标准分类:QT
发布日期:2008-04-15
实施日期:2008-06-30
被替代标准:
代替标准:
归口单位:无
起草单位:中国电子科技集团公司第四十八研究所
范围:本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备,其它行业的类似设备也可参照执行。
文件格式:PDF
文件大小:508.21KB
文件页数:13
(以上信息更新时间为:2019-04-16)
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