标准号：SJ/T 31096-1994
实施状态：现行
中文名称：精密硅片磨床完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：L97;J55
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
归口单位：无
起草单位：上海市仪表电讯工业局
范围：本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。本标准适用于CM73-Ⅲ型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。
文件格式：PDF
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文件页数：4
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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