标准号：SJ/T 10457-1993
实施状态：现行
中文名称：俄歇电子能谱术深度剖析标准导则
英文名称：Standard guide for depth profiling in auger electron spectroscopy
组织分类：SJ
中标分类：A42
ICS分类：31.020
标准分类：QT
发布日期：1993-12-17
实施日期：1994-06-01
采用标准：ASTM E1127-1986,MOD
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：天津电子材料研究所
范围：本标准导则适用于采用磨角与截面法、球坑法、离子溅射法、非破坏性深度剖析法进行俄歇电子能谱术深度剖析。本标准导则可能涉及有害的物品、操作及设备。但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前,应该制定适当的安全与保健措施,并确定本导则的应用范围。
文件格式：PDF
文件大小：918.39KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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