标准号：SJ/T 10152-1991
实施状态：现行
中文名称：集成电路主要工艺设备术语
英文名称：Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies
组织分类：SJ
中标分类：L56
标准分类：QT
发布日期：1991-04-02
实施日期：1991-07-01
归口单位：无
起草单位：机械电子工业部第45研究所
范围：本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。
文件格式：PDF
文件大小：13.40MB
文件页数：67
（以上信息更新时间为：2019-05-08）
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