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EN 62047-2-2006 半导体器件微电机器件.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法 IEC 62047-2:2006

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标准号：EN 62047-2-2006
实施状态：现行
中文名称：半导体器件微电机器件.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法 IEC 62047-2:2006
英文名称：Semiconductor devices  Micro-electromechanical devices  Part 2: Tensile testing method of thin film materials
发布日期：2006-09-01
文件格式：PDF
文件大小：465.70KB
文件页数：16
（以上信息更新时间为：2019-11-30）

EN 62047-2-2006 半导体器件微电机器件.第2部分_薄膜材料的拉伸试验方法 IEC 62047-2_2006.pdf (465.7 KB)
部分, 半导体器件, 试验方法, 方法, 器件

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