[电子] SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

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查看252 | 回复1 | 2021-5-26 10:51:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准规定了晶圆承载器与晶圆制造/检测设备之间的机械端口要求,主要包括晶圆承载器在设备上的位置和方向。本标准适用于加工直径200 mm及以下晶圆的半导体设备装载端口。

标准编号:SJ/T 11761-2020
中文名称:200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
全文页数:8


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SJ_T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范.pdf (2.71 MB)
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