收藏本站
开启辅助访问
切换到窄版
登录
立即注册
只需一步,快速开始
首页
搜索
本版
帖子
用户
麦田学社
»
首页
›
技术分享
›
技术资料
›
SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口 ...
返回列表
发新帖
SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
[复制链接]
985
|
5
|
2021-5-26 10:51
|
显示全部楼层
|
阅读模式
本标准规定了晶圆承载器与晶圆制造/检测设备之间的机械端口要求,主要包括晶圆承载器在设备上的位置和方向。本标准适用于加工直径200 mm及以下晶圆的半导体设备装载端口。
标准编号:SJ/T 11761-2020
中文名称:200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
全文页数:8
标准全文下载:
SJ_T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范.pdf
(2.71 MB)
2021-5-26 10:51 上传
点击文件名下载附件
文档封面截图如下:
以下
,
晶圆
,
设备
,
装载
,
端口
相关帖子
•
GB/T 18216.5-2021 交流1000V和直流1500V及以下低压配电系统电气安全 防护措施的试验、测量或监控设备 第5部分:对地电阻
•
GB/T 18216.1-2021 交流1000V和直流1500V及以下低压配电系统电气安全 防护措施的试验、测量或监控设备 第1部分:通用要求
•
GB/T 18216.4-2021 交流1000V和直流1500V及以下低压配电系统电气安全 防护措施的试验、测量或监控设备 第4部分:接地电阻和等电位接地电阻
•
GB/T 18216.3-2021 交流1000V和直流1500V及以下低压配电系统电气安全 防护措施的试验、测量或监控设备 第3部分:环路阻抗
•
T/CEC 118-2016 额定电压35kV(Um=40.5kV)及以下冷缩电缆附件技术规范(发布稿)
•
T/CEC 120-2016 额定电压35kV(Um=40.5kV)及以下预制电缆附件技术规范(发布稿)
•
T/CEC 119-2016 额定电压35kV(Um=40.5kV)及以下热缩电缆附件技术规范(发布稿)
•
NB/T 10446-2020 1000V以下馈线保护装置通用技术要求
网站所有内容均来自于网络,仅供个人学习、交流。
使用道具
举报
返回列表
技术资料
数据、文献
报告、手册
图纸、模型、素材
技术动态
技术求助
热门内容
DB11/T 2285-2024 水果生产质量安全控制规
GB 43284-2023 限制商品过度包装要求 生鲜
GB 37219-2023 充气式游乐设施安全规范
GB 4789.18-2024 食品安全国家标准 食品微
DB5106/T 32-2024 大型构件机械加工工艺路
DB5118/T 33-2024 旅游民宿等级划分与评定
DB23/T 3722-2024 使用领域消防产品档案管
LS/T 8005-2023 农户小型粮仓建造技术规范
HJ 511-2024 生态环境信息化标准体系指南
GB 2760-2024 食品安全国家标准 食品添加剂
DB23/T 3697-2024 区块链项目安全评估指南
DB50/T 1649-2024 餐饮业菜品信息描述规范