标准号：SJ 20842-2002
实施状态：现行
中文名称：砷化镓表面镓砷比的测试方法
英文名称：Test method for Ga/As ratio of surface of gallium arsenide
组织分类：SJ
中标分类：H83;L90
标准分类：QT
发布日期：2002-10-30
实施日期：2003-03-01
被替代标准：
代替标准：
归口单位：信息产业部电子第四研究所
起草单位：信息产业部电子第四十六研究所
范围：本标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的X射线光电子能谱的试验方法。本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中各种表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响,也适用于晶片加工中的各种表面处理。
文件格式：PDF
文件大小：218.08KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2019-04-24）
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SJ 20842-2002 砷化镓表面镓砷比的测试方法.pdf
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