标准号：YS/T 24-2016
实施状态：现行
中文名称：外延钉缺陷的检验方法
英文名称：Test methods for spike of epitaxial layers
组织分类：YS
中标分类：H21
ICS分类：77.040
标准分类：QT
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
作废日期： - -
代替标准：YS/T 24-1992
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司
范围：本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
文件格式：PDF
文件大小：280.97KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-03-27）
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