GB_T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法.pdf

标准号：GB/T 26068-2018
实施状态：现行
中文名称：硅片和硅锭载流子复合寿命的测试  非接触微波反射光电导衰减法
英文名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-11-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：3.97MB
文件页数：29
（以上信息更新时间为：2020-01-10）

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