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GB_T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法.pdf

 

GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法:
本文件描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。本文件适用于n型掺杂浓度大于1×10<sup>18</sup>cm<sup>-3</sup>的碳化硅衬底上同质参杂浓度小于1×10<sup>16</sup>cm<sup>-3</sup>的同质碳化硅外延层厚度的测试,测试范围为3um~200um。

标准编号:GB/T 42905-2023
中文名称:碳化硅外延层厚度的测试  红外反射法
英文名称:Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method
发布日期:2023-08-06
实施日期:2024-03-01
引用标准:GB/T 6379.2;GB/T 14264
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
全文页数:8


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GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试  红外反射法
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