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JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的 ...
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JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光谱法
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5
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2012-12-24 09:35
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标准号:
JC/T 2133-2012
实施状态:
现行
中文名称:
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光谱法
英文名称:
Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry. Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method
组织分类:
JC
中标分类:
C14
ICS分类:
71.040
标准分类:
QT
发布日期:
2012-12-28
实施日期:
2013-06-01
归口单位:
全国工业陶瓷标准化技术委员会功能陶瓷分技术委员会
起草单位:
中国科学院上海硅酸盐研究所
范围:
本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。杂质元素包括:铝、钡、钙、铬、铜、铁、钾、镁、锰、钠、镍、钛、锌、锆等14中元素。
文件格式:
PDF
文件大小:
328.95KB
文件页数:
11
(以上信息更新时间为:2019-04-07)
标准全文下载:
JC_T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf
(328.95 KB)
2012-12-24 09:35 上传
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21332012
,
半导体
,
抛光液
,
硅溶胶
,
杂质元素
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