标准号：YS/T 24-1992
实施状态：已作废
中文名称：外延钉缺陷的检验方法
组织分类：YS
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
作废日期：2016-09-01
被替代标准：YS/T 24-2016
代替标准：
归口单位：无
起草单位：上海有色金属研究所
范围：本标准现定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小4μm的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
文件格式：PDF
文件大小：116.80KB
文件页数：3
（以上信息更新时间为：2019-05-07）
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