标准号：JB/T 5630-1991
实施状态：已作废
中文名称：半导体器件扩散炉 能耗分等
组织分类：JB
中标分类：J01
标准分类：QT
发布日期：1991-09-13
实施日期：1992-07-01
作废日期：2017-05-12
归口单位：机械电子工业部机械标准化研究所
起草单位：国营七00厂
范围：本标准规定了半导体器件扩散炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
文件格式：PDF
文件大小：80.90KB
文件页数：4
（以上信息更新时间为：2019-05-07）
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JB_T 5630-1991 半导体器件扩散炉 能耗分等.pdf
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