标准号:SJ 21479-2018
实施状态:现行
中文名称:磷化铟晶片研磨工艺技术要求
英文名称:Technical requirements for the lapping process of InP wafer
发布日期:2018-12-29
实施日期:2019-03-01
归口单位:工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
文件格式:PDF
文件大小:1.59MB
文件页数:8
(以上信息更新时间为:2020-03-13)
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SJ 21479-2018 磷化铟晶片研磨工艺技术要求.pdf
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