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SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范

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查看1606 | 回复5 | 2015-5-2 08:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号：SJ/T 11505-2015
实施状态：现行
中文名称：蓝宝石单晶抛光片规范
英文名称：Sapphire single crystal polished wafers specification
组织分类：SJ
中标分类：H83
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心
范围：本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单晶抛光片,其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参照本标准。
文件格式：PDF
文件大小：1.57MB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-03-31）

标准全文下载：
SJ_T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范.pdf (1.57 MB)
115052015, 单晶, 光片, 规范

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