标准号：GB/T 16880-1997
实施状态：现行
中文名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
英文名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition
组织分类：GB
中标分类：L97
ICS分类：31.020
标准分类：CN
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
被替代标准：
代替标准：
采用标准：SEMI P22-1993,IDT
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：中国科学院微电子中心
范围：本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语,并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
文件格式：PDF
文件大小：296.30KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-05-02）
标准全文下载：
GB_T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则.pdf
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