GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

显示全部楼层 · 2010-6-13 15:26

标准号：GB/T 15870-1995
实施状态：现行
中文名称：硬面光掩模用铬薄膜
英文名称：Chrome thin films for hard surface photomasks
组织分类：GB
中标分类：L97
ICS分类：31.030
标准分类：CN
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
被替代标准：
代替标准：
采用标准：SEMI P2-1986,NEQ
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：长沙韶光微电子总公司
范围：本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜(以下简称铬薄膜)。
文件格式：PDF
文件大小：177.86KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-05-04）

标准全文下载：

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[国家标准] GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

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