SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

显示全部楼层 · 2015-5-1 22:06

标准号：SJ/T 11507-2015
实施状态：现行
中文名称：集成电路用氧化层缓冲腐蚀液
英文名称：Oxide coating etching buffer for integrated circuit
组织分类：SJ
中标分类：L90
ICS分类：31.030
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司
范围：本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
文件格式：PDF
文件大小：2.47MB
文件页数：16
（以上信息更新时间为：2019-03-31）

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